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例如，在大型電子器件生產中的光刻曝光加工技術中，作為掩模原料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數的差異越來越小。因此，需要0.1度的溫度控制。同時，規定的環境濕度值普遍偏低。這樣的生產車間不適合超過25度。過多的濕度會導致很多問題。當空氣濕度超過55時，冷卻循環水壁厚上的冷凝水如果出現在準確的設備或線路中，會引起各種事故。空氣濕度為50時，容易生銹。

但是，對于絕大多數潔凈室內空間來說，為了避免外部環境污染的侵入，需要保持內部結構的工作壓力（負壓）高于外部工作壓力（負壓）。差壓的維持一般應符合以下標準：

1、潔凈度等級高的室內空間的負荷高于鄰近潔凈度等級低的室內空間的工作壓力。

2、潔凈室中間的門應在潔凈度高的房間內打開。

3、清潔室內空間的負擔高于不清潔的室內空間。壓力差是通過排氣量來維持的，這可以補償在此處的壓力差下從間隙泄漏的排氣量。因此，壓差的物理意義是泄漏（或滲入）排氣量以潔凈室各種間隙為基準時的摩擦阻力。

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